Kosteneffizienter PPB Sauerstoff Analysator für Gasreinheit in Halbleiter Anwendungen

Michell Instruments bietet Kunden aus den Industriebereichen Halbleiter und Gasherstellung einen speziell geeigneten Spurensauerstoff Analysator an, der die Qualität von ultrahochreinen (UHP) Gasen sicherstellt.

Der Sauerstoff Analysator PI2-UHP von Analytical Industries, der Schwesterfirma von Michell in der Firmengruppe Process Sensing Technologies (PST), ist kosteneffektiv und top ausgestattet.

Mit einer unteren Nachweisgrenze von weniger als 100 PPT wurde er speziell für die Messung von Kontaminierungen durch Sauerstoffspuren in UHP Gasen entwickelt. Der Pico-Ion elektrochemische Sensor ist wartungsfrei und Routine Kalibrierungen sind dank der Auto-Kalibrierung und dem integrierten Aufbereitungssystem einfach und schnell durchzuführen. Die externe Zuführung von Elektrolyten ist nicht notwendig.


Zur Sicherstellung der vollständigen Freiheit von O2 im Nullgas, wurde ein Sauerstoff-Scrubber als Bestandteil in das Aufbereitungssystems integriert. Ein Bypass-Vierwegeventil isoliert und schützt den Sensor vor hohen Sauerstoffgehalten während der Inbetriebnahme, bei der Umschaltung von Messlinien und während der Wartung.

Über die Michell Instruments GmbH

Michell Instruments wurde 1974 in Cambridge, Großbritannien, gegründet. Mit 40 Jahren Erfahrung und einer Fokussierung auf Feuchtemessung und Feuchtekalibrierung ist Michell Instruments heute der internationale Marktführer in diesem Bereich. Unternehmensziel ist die Entwicklung, Herstellung, der Vertrieb und Service von Feuchtemessgeräten, Taupunktsensoren, Feuchte-Kalibriersystemen und Spezialequipment für die Prozessfeuchtemessung. Ein zweiter wichtiger Geschäftsbereich ist die Herstellung, der Vertrieb und Service von Sauerstoff-Analysatoren für Industrieanwendungen. Weltweit arbeiten an 11 firmeneigenen Standorten mehr als 200 Mitarbeiter für Michell Instruments.

Als einziger Hersteller deckt Michell Instruments den gesamten Messbereich von -120/+130 °C Taupunkt mit den eigenen Sensortechnologien ab. 1989 wurde Michell Instruments weltweit als erstes NAMAS (heute UKAS)-Kalibrierlabor anerkannt und erhielt wenig später die BS EN ISO 9001:2000 Zertifizierung.

Michell Instruments ist Mitglied der Industriellen Technologie Gruppe Process Sensing Technologies (PST), zu der ebenfalls die Firmen Analytical Industries Inc. und Rotronic gehören.

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